Представлены результаты исследований закономерностей поступления вещества в плазму разряда применительно к требованиям совершенствования спектрального анализа. Рассмотрены образцы приборов и специальные изделия для сокращения времени пробоподготовки и анализа. На примерах показана перспективность применения средств вычислительной техники для получения спектральной информации и обработки результатов. Большое внимание уделено разработке новых и совершенствованию известных методик контроля толщины и элементного состава различных видов покрытий, контроля микроколичеств элементов в пробах. Рекомендована для инженерно-технических работников предприятий, сотрудников НИИ, а также в качестве учебно-методического пособия для студентов соответствующих специальностей.