В монографии освещены важнейшие с точки зрения современного материаловедения вопросы формирования эмиссионных токов в наноструктурах «металл–оксид металла», активно используемых в качестве основы холодных катодов различных электронных устройств. Проведен анализ использования тонкопленочных структур как основы холодных катодов кольцевых лазеров гироскопов, для накачки которых применяется тлеющий газовый разряд. С использованием компьютерного моделирования проведены комплексные исследования механизмов формирования инжекционно-эмиссионных токов в наноструктурах Al–Al2O3 и Be–BeO, процессов модификации их поверхности и объема под действием ионно-электронной бомбардировки. Рассмотрены вопросы получения и исследования физико-технических параметров холодных катодов на основе наноструктур Al–Al2O3 и Be–BeO. Книга предназначена для научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в области электронного материаловедения, радиоэлектроники, физики твердого тела. Она также может служить учебником, полезным преподавателям, аспирантам, магистрантам и студентам-старшекурсникам соответствующих физико-технических и естественнонаучных специальностей.