Монография «Нанотехнология» подготовлена коллективом авторов на основе исследований и разработок, выполненных на кафедре микроэлектроники и в Центре микротехнологии и диагностики Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета. Систематически излагается материал, охватывающий проблемы физики квантоворазмерных неорганических и биоорганических наноструктур; процессы нанотехнологии, ориентированные на формирование нанослойных систем и нанокомпозиций неорганической и органической природы, а также 3D-обработку с использованием наноразмерных пучков. Рассмотрены электронографический, оптические, электрические, электронно- и атомно-зондовые методы диагностики нанокомпозиций и анализа поверхности твердого тела с наноразмерным разрешением. Представлены практические результаты создания реальных востребованных устройств оптоэлектроники, микро- и наносистемной техники на основе гетеронаноструктур, нанопористых и наноструктурированных материалов, наноразмерных органических и неорганических мембран. Значительное внимание уделено микро- и наноаналитическим системам для экспресс-анализа наноколичеств вещества и контроля биоорганических макромолекул и комплексов. Для научных работников и инженеров, занимающихся нанотехнологиями. Может быть полезна для подготовки специалистов, магистров и аспирантов по направлениям: «Нанотехнология» и «Электроника и микроэлектроника».