В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.

Fatal error: Uncaught Error: Call to a member function fetch_row() on false in /home/user/web/тумба.онлайн/private/versions/ver_5/pages/books_single.php:285 Stack trace: #0 /home/user/web/тумба.онлайн/private/versions/ver_5.php(577): include() #1 /home/user/web/тумба.онлайн/public_html/index.php(200): include('...') #2 {main} thrown in /home/user/web/тумба.онлайн/private/versions/ver_5/pages/books_single.php on line 285