Основы радиационных технологий. Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+–p–p+(p+–n–n+)-типа
Основы радиационных технологий. Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+–p–p+(p+–n–n+)-типа
Автор
Владимир Астахов
ISBN
litres_30823809
В методических указаниях рассматриваются принципы расчета режимов ионной имплантации при формировании структур n+–p–p+(p+–n–n+)-типа и профилей распределения имплантированной примеси. Излагается методика расчета в программе Math Cad 2001.
Fatal error: Uncaught Error: Call to a member function fetch_row() on false in /home/user/web/тумба.онлайн/private/versions/ver_5/pages/books_single.php:285
Stack trace:
#0 /home/user/web/тумба.онлайн/private/versions/ver_5.php(577): include()
#1 /home/user/web/тумба.онлайн/public_html/index.php(200): include('...')
#2 {main}
thrown in /home/user/web/тумба.онлайн/private/versions/ver_5/pages/books_single.php on line 285