В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении.

Fatal error: Uncaught Error: Call to a member function fetch_row() on false in /home/user/web/тумба.онлайн/private/versions/ver_5/pages/books_single.php:285 Stack trace: #0 /home/user/web/тумба.онлайн/private/versions/ver_5.php(577): include() #1 /home/user/web/тумба.онлайн/public_html/index.php(200): include('...') #2 {main} thrown in /home/user/web/тумба.онлайн/private/versions/ver_5/pages/books_single.php on line 285