Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».

Fatal error: Uncaught Error: Call to a member function fetch_row() on false in /home/user/web/тумба.онлайн/private/versions/ver_5/pages/books_single.php:285 Stack trace: #0 /home/user/web/тумба.онлайн/private/versions/ver_5.php(577): include() #1 /home/user/web/тумба.онлайн/public_html/index.php(200): include('...') #2 {main} thrown in /home/user/web/тумба.онлайн/private/versions/ver_5/pages/books_single.php on line 285