Учебное пособие состоит из шести базовых модулей, а также трех дополнительных модулей для групп с более высоким уровнем языковой подготовки и для магистрантов. Тексты первых трех модулей посвящены микроэлектромеханическим системам и устройствам (MEMS) и их практическому применению. В каждом модуле тексты снабжены терминологическим словарем. Посредством разнообразных заданий организованы различные формы работы с текстом. В качестве базы для становления коммуникативных компетенций разработаны лексические и грамматические упражнения, предназначенные для формирования речевых навыков. В пособии приведены оригинальные научные материалы из англоязычных журналов. Для студентов старших курсов факультета «Радиоэлектроника и лазерная техника», обучающихся по специальности «Инженерные нанотехнологии в приборостроении».