В пособии изложены элементы теории погрешностей, графические и математические принципы анализа результатов измерений в физическом эксперименте, методы аппроксимации экспериментальных зависимостей, оценки адекватности такого анализа. Представлены справочные таблицы функций, критических коэффициентов и критериев, необходимых для корректной статистической обработки результатов измерений. Предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки "Техническая физика", "Электроника и наноэлектроника". Пособие может быть использовано студентами, специализирующимися в различных областях экспериментальной физики, а также аспирантами, инженерами и научными работниками. Рекомендовано ФУМО в системе высшего образования по укрупненным группам специальностей и направлений подготовки "Физико-технические науки и технологии" в качестве учебного пособия для обучающихся по основным профессиональным образовательным программам высшего образования направления бакалавриата "Техническая физика".