Учебное пособие содержит краткие сведения о технологиях производства наноматериалов и наноструктур, методах контроля кристаллической структуры и размеров нанокристаллитов, методах контроля электронной структуры и типа химических связей в наноматериалах, а также типа и концентрации точечных дефектов в наноматериалах. .Соответствует требованиям федеральных государственных образовательных стандартов высшего образования последнего поколения. .Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавров 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" и направлениям подготовки магистров 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.04.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника".