Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».

Fatal error: Uncaught Error: Call to a member function fetch_row() on false in /home/user/web/тумба.онлайн/private/versions/ver_5/pages/books_single.php:285 Stack trace: #0 /home/user/web/тумба.онлайн/private/versions/ver_5.php(577): include() #1 /home/user/web/тумба.онлайн/public_html/index.php(200): include('...') #2 {main} thrown in /home/user/web/тумба.онлайн/private/versions/ver_5/pages/books_single.php on line 285