В учебнике изложены теоретические основы надежности изделий, в том числе технологические и системные методы обеспечения надежности с учетом теоретико-экспериментальных подходов к ее оценке. Рассмотрены общие и специальные модели оценки надежности, их взаимосвязь с показателями качества, методы анализа эмпирических функций распределения, а также концептуальная аксиоматическая теория надежности. Приводятся примеры оценки надежности, в основном с использованием конкретных изделий микро- и наноэлектроники и их элементов, в том числе для оценки структурной надежности с учетом физико-химической природы механизмов отказов. В результате освоения материала данной книги студенты узнают основные понятия и методы теории надежности, научатся применять математические методы расчета показателей надежности и овладеют методами теории надежности, позволяющими обеспечивать необходимый уровень надежности изделий в период их практической эксплуатации.