Рассмотрены способы пробоподготовки объектов в просвечивающем электронном микроскопе, основные режимы работы микроскопа, методы расчета электронограмм при определении ориентации кристаллов, типа и периодов кристаллической решетки вещества, идентификации фазового состава, а также процесс получения изображений структуры с атомным разрешением. Для студентов, изучающих дисциплины «Методы структурного анализа», «Материаловедение», «Современные методы исследования материалов», «Материалы микро- и наноэлектроники» и др.